Micro-Electro-Mechanical Systems, skratka MEMS (slovensky mikromechanické systémy, mikromechanika), označuje mechanické a elektromechanické konštrukcie veľmi malých rozmerov (pod 1 mm), ako aj technológie používané na ich prípravu. Pre ilustráciu rozmerov typických MEMS sa často používa priemer ľudského vlasu (asi 50 μm).

Materiály a technológie

Na prípravu MEMS sa využívajú technológie prevzaté z mikroelektroniky (t. j. výroby čipov):

• fotolitografia
• selektívne leptanie
• iónové odprašovanie
• selektívne nanášanie kovových a nekovových vrstiev

Podobne, aj materiály používané v MEMS sú často prevzaté z mikroelektroniky, napr. kremík, SiO2, rôzne kovy a polyméry.

Súčasné využitie

• senzory
  • senzory zrýchlenia použité na detekciu nárazu v automobile (iniciuje spustenie airbagu)
  • vibračný gyroskop pre snímanie pohybu
• zobrazovacie prvky
  • polia mikrozrkadiel

Potenciálne využitie

• mikroroboty pre operácie vnútri ľudského tela (bez toho aby človek musel liezť pod skalpel - stačí keď prehltne "pilulku" a dané robotické systémy urobia všetko potrebné)
• miniatúrne motory, ktoré môžu byť použité v zabezpečovacích systémoch
• v špionážnej technike (ak sa už nevyužíva:) hlavne pre jeho malé rozmery
• demonštrácia možností:
  • malé roboty menšie ako zrnko ryže
  • "kolotoč" pre blchy